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相關(guān)文章桌面式磁控濺射儀KT-Z1650PVD,外形小巧方便移動,觸摸屏控制工藝記憶儲存,自動電動擋板閥保護樣品,石英腔室更加潔凈方便清潔。
桌面式小型濺射儀KT-Z1650PVD磁控濺射是一種常用的物理氣相沉積(PVD)的方法,具有沉積溫度低、沉積速度快、所沉積的薄膜均勻性好,成分接近靶材成分等眾多優(yōu)點。
桌面式濺射儀KT-Z1650PVD是一款高度集成化智能化的臺式磁控濺射系統(tǒng)。體積小巧,但是功能出色、配置齊全。配有水冷靶,自動樣品擋板,可調(diào)節(jié)濺射源距離,觸摸屏控制,工藝儲存等功能,方便快捷。
小型離子濺射儀鍍膜儀一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體。
不同的蒸發(fā)速率下沉積300nm的Au薄膜,研究蒸發(fā)速率對薄膜表面形貌和性能的影響。隨著蒸發(fā)速率的提高,薄膜的結(jié)構(gòu)變得致密,晶粒尺寸和表面粗糙度減小。高純度金靶材磁控濺射儀KT-Z1650PVD在較短時間內(nèi)即可形成具有細粒度的均勻薄膜,儀器結(jié)構(gòu)緊湊,全自動控制,設(shè)計符合人體工程學。